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Mit der Mikrowellen-Feuchtemessung läßt sich die Feuchte an Bauteilen messen. Wie das radiometrische Neutronenmessverfahren oder die kapazitive Feuchtemessung ist die Methode zerstörungsfrei. Das Messprinzip beruht auf dem Messen des Energieverlustes, der entsteht, wenn Flüssigkeiten von außen durch Mikrowellen hoher Frequenzen bis zur Resonanz angeregt werden. Dort zeigen viele flüssige Stoffe ihr Maximum an Absorption. Bei den meisten Materialien wie Holz, Mauerwerk oder anderen Baustoffen läßt sich auf diese Weise der Wassergehalt bis in eine Tiefe von 20 cm bis 25 cm bestimmen. Das Mikrowellenverfahren ist ein sehr schnelles, aber auch sehr teures Verfahren. Die Bauteilfeuchte läßt sich sofort am Laptop ablesen. Bei bestimmten Geräten sind allerdings zum Schutz der Gesundheit Schutzmaßnahmen zu treffen. Zudem ist eine ebene Unterlage notwendig, da es sonst zu Problemen beim Ankoppeln kommt.
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